一种微半球陀螺球面电极成型装置及方法.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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一种微半球陀螺球面电极成型装置及方法.pdf

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本发明涉及微机电系统制造技术领域，具体是一种微半球陀螺球面电极成型装置及方法；所述方法包括将制备完成的谐振结构放入支架下层中；将玻璃结构紧贴所述谐振结构后盖上支架上层，并合拢上下层支架；将合拢后的支架放入真空加热炉中，软化所述玻璃结构；待炉体温度冷却至室温时，取出支架，得到与谐振结构相适应的球面电极结构；本发明球面电极结构的成型精度仅依赖于谐振结构本身，不受微半球陀螺其他工艺条件限制；在精确控制温度场的条件下，由于谐振结构曲面边缘本身存在温度梯度，使得球面结构的成型具有自适应性，即球面结构的曲率

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113776512 B (45)授权公告日 2023.04.14 (21)申请号 202111106018.6 (22)申请日 2021.09.22 (65)同一申请的已公布的文献号