电子发射元件以及电子显微镜.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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电子发射元件以及电子显微镜.pdf

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本发明提供一种电子的能量散度窄、电子发射效率优异的电子发射元件以及使用该电子发射元件的电子显微镜。所述电子发射元件具备：第一电极、由绝缘膜构成的电子加速层以及第二电极依次层叠而成的层叠结构，第二电极为供电子透过、从表面发射电子的电极，发射出的电子的能量散度为100meV以上且600meV以下。例如，作为第二电极，可以使用1层以上且20层以下的石墨烯，作为绝缘膜，可以使用六方晶系的氮化硼。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113795902 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202080033885.9 (74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司