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本发明提供一种光刻机光源发生装置,包括:底板、安装筒、激光源、调节镜筒、连接驱动机构和光源强度调节机构,所述底板中部开设有通孔,所述底板表面等距固定有固定柱,三个所述固定柱顶部固定有顶板,所述安装筒固定在顶板中部,且安装筒顶部贯穿顶板,所述激光源插接在安装筒内壁,且激光源与顶板固定连接,所述调节镜筒套设在安装筒外侧下端,所述安装筒外侧下端等距开设有弧形槽,所述调节镜筒内壁等距固定有拨柱。本发明通过调节焦距,可调节激光器的聚光点直径,方便生产不同型号的芯片,且在对激光器的聚光点直径进行调节时,可同
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113759490 B
(45)授权公告日 2022.04.01
(21)申请号 202111279995.6 H01S 3/10 (2006.01)
(22)申请日 2
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