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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明公开了一种高透过率深紫外滤光片的制备方法，它包括以下步骤：步骤1：选定滤光片的初始结构为：Air/(LH)m/Sub/(LH)n/Air。有益效果在于：本发明所述的高透过率深紫外滤光片采用金属Hf和HfO2作为高折射率膜料，SiO2作为低折射率膜料，实现了220nm波长处透过率大于80％，235‑290nm处的透过率平均值小于1％，减反射膜和滤光截止膜使用同样的两种镀膜材料，简化了制造工艺，滤光片一致性好，降低了滤光片制造对设备的限制，减低了制造成本，便于批量化生产，同时由于波长220nm
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113802093 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202111107054.4 G02B 5/28 (2006.01)
(22)申请日 20
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