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一种高效太阳能电池叠层钝化膜结构及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种高效太阳能电池叠层钝化膜结构及制备方法.pdf

    本发明涉及光伏硅太阳能电池制造领域，尤其涉及一种高效太阳能电池叠层钝化膜结构及制备方法，利用本发明所提供的制备工艺的钝化膜无需进行氧化铝膜的制备，通过PECVD机台在基材的两侧分别进行镀膜，通过镀膜过程中气体流量、等离子体功率、镀膜压强、镀膜温度、镀膜时间的工艺参数改变实现第一防护单元和第二防护单元的制备，在不影响产量、良率，也不需要对现有机台进行升级改造的同时减少一道工序（即ALD工序），节约生产成本和人力成本，简化操作工艺。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113793876 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202111169915.1 C23C 16/40 (2006.01) (22)申请日 2

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