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一种找平装置.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种找平装置.pdf

    本发明涉及一种找平装置，包括支撑板、底板、监测装置、控制模块和调节机构，调节机构包括从下至上依次连接的伺服电机、螺杆、螺纹轴套和球铰支座，底板的上表面通过至少三个调节机构与支撑板的下表面连接，监测装置、控制模块和伺服电机依次电连接，监测装置可监测支撑板的水平度，控制模块可基于监测装置的监测结果控制调节机构调节支撑板至水平位置，相比于现有技术，本发明可实现工作台的自动调平以及水平面内工作台位置的自动调整，避免人工参与，省时省力，提高生产效率，同时保证调整精度，确保芯片产品的高质量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113790705 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202111175298.6 (22)申请日 2021.10.09 (71)申请人 重庆

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