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一种原子层沉积用远程等离子体发生装置.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种原子层沉积用远程等离子体发生装置.pdf

    本实用新型涉及原子层沉积技术领域，且公开了一种原子层沉积用远程等离子体发生装置，包括主体，所述主体两侧的中间位置处对称开设有出口，所述主体内部的两侧对称固接有安装板，所述安装板内部的中间位置处安装有发生器，所述主体内顶部的中间位置处安装有可以进行散热的散热组件，该原子层沉积用远程等离子体发生装置，可以将装置内部的热量抽出，防止装置内部的热量过高对装置内部的零部件造成损伤，不但提高了装置的散热效果，还提高了装置的使用寿命，该原子层沉积用远程等离子体发生装置，可以对外界连接的管道进行加固，防止装置在

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219305096 U (45)授权公告日 2023.07.04 (21)申请号 202320522868.2 (22)申请日 2023.03.13 (73)专利权人 活石半导体（北

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