一种用于光子集成电路的分布式反馈激光器装置及其改进和制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种用于光子集成电路的分布式反馈激光器装置及其改进和制造方法.pdf

本发明提供一种集成在硅上的分布式反馈激光器,包括具有第一材料的波导和具有不同于所述第一材料的第二材料形成的激光二极管的组合。其中激光二极管包括形成单纵模的多个规则间隔的金属化光栅元件。波导包括由金属化区域分隔的多个波导元件。金属化光栅元件和金属化区域适于彼此耦合以形成所述分布反馈激光器。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113812049 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 201980092959.3 (74)专利代理机构 深圳市尔逊专利代理事务所

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