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基板处理装置包括处理单元和将基板传送到处理单元中的传送单元。传送单元包括在处理腔室中支承基板的支承单元。支承单元包括：支承件，基板放置在所述支承件上；和边缘环，其围绕放置在支承件上的基板，且与支承件是可分离的。传送单元包括：手，其具有顶侧，基板放置在顶侧；和固定构件，其设置在手中，并使用静电力将所述边缘环固定至所述手的底侧。固定构件包括第一电极和第二电极，并且传送单元还包括电压施加设备，其将不同极性的电压施加到第一电极和第二电极。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110504202 A
(43)申请公布日
2019.11.26
(21)申请号 20191
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