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一种金属氟化物捕获器及准分子激光器.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种金属氟化物捕获器及准分子激光器.pdf

    本发明涉及激光技术领域，具体涉及一种金属氟化物捕获器及准分子激光器,包括：缸体、管束支撑板一、管束支撑板二、除尘管、过滤介质结构；若干除尘管的两端由管束支撑板一、管束支撑板二支撑固定后安装在缸体内，除尘管的两端穿设管束支撑板一、管束支撑板二，管束支撑板一、管束支撑板二与缸体密封设置，若干除尘管组成除尘管束，除尘管束上包覆有过滤介质结构，除尘管上开设有除尘管进气口，缸体上开设有进气口；携带带电金属氟化物颗粒的气流由缸体的进气口进入，经过过滤介质结构的过滤、经由除尘管进气口通过除尘管过滤后，在除尘管

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113797667 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 20201

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