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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明涉及一种采用形成电极、开槽绝缘二步法的背接触异质结太阳能电池制造方法,它的具体步骤如下,步骤A,在半导体基板的第一主面设置第一导电区,和第二导电区;步骤B,在第一导电区和第二导电区表面设置导电层;步骤C,在第一导电区与第二导电区的交界处采用印刷方式设置抗沉积层;步骤D,在导电层的未遮盖抗沉积层的区域表面形成电极;步骤E,在抗沉积层对导电层采用激光蚀刻方式或激光蚀刻与化学蚀刻相结合方式进行开槽;所述开槽在第一导电区和第二导电区之间形成分隔绝缘。本发明的目的在于提供一种采用形成电极、开槽绝缘二
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113809186 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202111070379.X
(22)申请日 2021.09.13
(71)申请人 福建金石能源有限公司
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