一种NBTI老化效应的评估方法.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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一种NBTI老化效应的评估方法.pdf

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本发明公开了一种NBTI老化效应的评估方法，包括：第一预设时间段内采用恢复时间动力学模型评估MOS器件的NBTI老化效应，得到第一预设时间段内各单位时刻的恢复阶段的阈值电压漂移；在第二预设时间段内采用可恢复性缺陷退化模型和准永久性缺陷退化模型评估该器件的该效应，得到第二预设时间段内每个单位时刻的应力阶段的阈值电压漂移；根据阈值电压漂移得到评估结果；上述模型根据第一阈值电压测量结果和第二阈值电压测量结果得到；第一阈值电压测量结果是在第一预设温度下对第一MOS器件施加不同栅极电压时测量出的阈值电压；

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116384050 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310120298.9 (22)申请日 2023.02.15 (71)申请人西安电子科技大学地址 7100