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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明公开绑定装置、转位机器人以及绑定方法。根据本发明的一实施例，提供一种用于将第二基板绑定在第一基板上的绑定装置，所述绑定装置包括：转位部；以及工艺处理部，包括针对所述第一基板以及所述第二基板执行处理的多个处理单元，所述转位部包括：转位机器人，转位机器人，能够向所述工艺处理部传递所述第一基板以及所述第二基板，并使基板翻转。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116372966 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202211539835.5
(22)申请日 2022.12.02
(30)优先权数据
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