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一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液及其制备方法。本发明的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液由氧化铝粉体、分散剂、抛光增速剂、pH调节剂以及水组成，其中，所述分散剂为大分子分散剂，所述氧化铝粉体的粒径在0.5‑1.0μm。本发明的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液采用大分子分散剂及细粒径的氧化铝粉体配制而成，悬浮性好、化学试剂添加少，且抛光效率高，成本低。本发明的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液的制备方法能够实现所述蓝宝石衬底片氧化铝抛光液规模化生产。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116376449 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310207738.4 (22)申请日 2023.03.06 (71)申请人 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 地

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