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平面电极结构半球谐振陀螺精密装配装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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平面电极结构半球谐振陀螺精密装配装置及方法.pdf

    本发明涉及平面电极结构半球谐振陀螺精密装配装置及方法，其通过光谱共聚焦传感器获取谐振子与基座电极之间的间隙，通过四个方向的间隙的数值，通过多自由度定位平台实现间隙的调整；通过差分式电容检测装置获得振子与电极基座分别在X轴和Y轴方向的径向位置偏差，将径向位置偏差反馈到多轴位移平台控制系统中，从而可实现径向位置偏差的高精度调整的功能。本发明能够高精度检测并调整谐振子与电极基座之间X、Y、Z方向的位置偏差以及俯仰与翻滚偏差，解决平面电极结构半球谐振陀螺谐振子与基座电极间隙及径向位置偏差的精确测量与调整

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113804172 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111151578.3 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人 中国船舶重工集团公司第七0七研

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