原创力文档- 11
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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明涉及机械治具技术领域，公开了一种夹取晶圆的夹具，包括筒体、至少三个夹爪、至少三个支撑组件以及驱动组件；所述夹爪上开设有滑槽；所述支撑组件与所述筒体固定连接，所述支撑组件与所述夹爪相对应设置，所述支撑组件包括支撑轴，部分所述支撑轴设置于所述滑槽内；所述夹爪的一端与所述驱动组件转动连接。本发明技术方案通过采用筒体、至少三个夹爪、至少三个支撑组件以及驱动组件，实现快速转移晶圆的功能；解决解键合完成后晶圆转移中出现的不标准化以及安全问题；保护操作员工的安全，防止晶圆滑落破裂的情况，提高晶圆生产的工
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113808992 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202111028703.1
(22)申请日 2021.09.02
(71)申请人 威科赛乐微电子股份有限公司
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