PERC太阳能电池高效背钝化工艺.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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PERC太阳能电池高效背钝化工艺.pdf

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本发明公开了一种PERC太阳能电池高效背钝化工艺，包括如下步骤：S100，在硅片衬底背面生长Al2O3薄膜；S200，在所述Al2O3薄膜表面沉淀第一SiNx薄膜；S300，在所述第一SiNx薄膜表面沉淀第二SiNx薄膜；S400，在所述第二SiNx薄膜表面沉淀第三SiNx薄膜；其中，所述第一SiNx薄膜的折射率小于所述第二SiNx薄膜的折射率。本发明通过在硅片衬底背面生长Al2O3薄膜，在Al2O3薄膜表面沉淀三层SiNx薄膜，从而可以提高电池片转换效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809204 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111048862.8 (22)申请日 2021.09.08 (71)申请人苏州潞能能源科技有限公司