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- 2023-07-05 发布于四川
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处理模块内所采用的升降销机构包括多个升降销，其沿着定义于处理模块中的下电极的周缘均匀分布。每一升降销包括顶部构件，其通过倒角所定义的轴环而与底部构件隔开。套件定义于下电极(其上容纳衬底以进行处理)的主体内的壳体中。壳体设置于定义在下电极中的中间环下方。升降销的轴环用于与套件的底侧接合，且套件的顶部配置成在升降销被启动时与中间环接合。耦合至多个升降销中的每一者的致动器及连接至致动器的致动器驱动器被用于驱动多个升降销。控制器耦合至致动器驱动器以控制多个升降销的移动。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113811987 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202080034875.7 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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