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光学麦克风组合件.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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光学麦克风组合件.pdf

    一种光学麦克风组合件(2)包含：微机电系统(MEMS)组件(4)；半导体芯片(6)；和外部外壳，其包括非MEMS支撑结构的至少部分且界定孔口(32)。所述MEMS组件包含干涉测量布置，其包含膜片(8)和与所述膜片(8)间隔开的至少一个光学元件(10)。所述半导体芯片(6)包含至少一个光检测器(14)，且具有安装在其上或集成在其中的光源(16)。所述MEMS组件(4)安装在所述非MEMS支撑结构上且密封到所述外部外壳，使得所述MEMS组件(4)关闭所述孔口(32)。所述半导体芯片(6)以与所述ME

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113811747 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202080034945.9 雅各布 ·威纳勒德　 (22)申请日 2020.0

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