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一种基板处理方法，其对在表面形成有器件的处理对象基板进行处理，其中，该基板处理方法具有以下步骤：准备对器件基板进行分离而得到的具有器件侧的第1分离基板和不具有器件侧的第2分离基板中的所述第2分离基板；以及将所述第2分离基板再利用地与处理对象基板接合。一种基板处理系统，其对在表面形成有器件的处理对象基板进行处理，其中，该基板处理系统具有接合部，该接合部将对器件基板进行分离而得到的具有器件侧的第1分离基板和不具有器件侧的第2分离基板中的所述第2分离基板再利用地与处理对象基板接合。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113811983 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202080035527.1 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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