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电容计算方法以及基板的厚度计算方法.pdfVIP

电容计算方法以及基板的厚度计算方法.pdf

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    公开一种电容计算方法以及基板的厚度计算方法。电容计算方法可以包括：利用电容测量装置测量多个测量电容的步骤；计算针对与多个测量电容中的每一个相对应的蒸镀参数的多个蒸镀系数、针对与多个测量电容中的每一个相对应的曝光参数的多个曝光系数以及针对与多个测量电容中的每一个相对应的蚀刻参数的多个蚀刻系数的步骤；计算针对多个蒸镀系数的校正蒸镀系数、针对多个曝光系数的校正曝光系数以及针对多个蚀刻系数的校正蚀刻系数的步骤；以及基于包括蒸镀参数、校正蒸镀系数、曝光参数、校正曝光系数、蚀刻参数以及校正蚀刻系数的电容计算

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113804974 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110480256.7 (22)申请日 2021.04.30 (30)优先权数据 10-2020-0

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