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一种三维纳米通孔的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种三维纳米通孔的制造方法.pdf

    本发明公开了一种三维纳米通孔的制造方法，属于光刻技术领域，通过激光直写结合可调控空间结构光，能够直接制造直径＜100nm的三维纳米通孔，实现了一种纳米孔直径可控的三维纳米通孔制造方法。本发明制造方法过程简单，成本低廉，制造周期短，能实现纳米通孔的可控制造，可以为微纳流控、生物医学、仿生功能材料等领域的研究提供有效解决方案。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113805433 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111112640.8 (22)申请日 2021.09.18 (71)申请人 西北大学 地址 71

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