1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

用于薄膜沉积的混合系统架构.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约2.22万字
  • 约 20页
  • 2023-07-05 发布于四川
  • 举报

用于薄膜沉积的混合系统架构.pdf

    提供了一种处理系统，其包括：真空外壳，其具有多个处理窗口和位于其中的连续轨道；多个处理腔室，其被附接于真空外壳的侧壁，每个处理腔室围绕处理窗口中的一个；加载锁，其被附接于真空外壳的一端并在其中定位有加载轨道；至少一个闸阀，其将加载锁与真空外壳间隔开；多个基片承载件，其被配置成在连续轨道和加载轨道上行进；至少一个轨道交换器，其被定位在真空外壳内，轨道交换器可在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置中，基片承载件被制成为在连续轨道上连续地移动，在第二位置中，基片承载件被制成为在连续轨道和加载轨道之间

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113811427 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 201980084403.X (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >