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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明公开一种基于周期波纹衬底上磁性薄膜的平面霍尔传感器，属于磁性器件技术领域，包括自下而上依次的周期性波纹衬底、缓冲层、磁性薄膜层、保护层和导电金属层，导电金属层包括沿垂直于波纹方向设置的两个检测平面霍尔信号导电金属层，以及沿平行于波纹方向设置的两个外接电流导电金属层。本发明通过在周期性波纹衬底上沉积磁性薄膜层，得到周期性波纹结构的磁性薄膜，实现图案化磁性薄膜诱导单轴各向异性；相较于传统形状诱导单轴磁各向异性的平面霍尔传感器，本发明无需精确刻蚀等工艺要求，仅通过调整周期性波纹衬底的波纹周期与波
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116381579 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202310249538.5
(22)申请日 2023.03.15
(71)申请人 电子科技大学
地址 611731
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