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一种蒸镀装置.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种蒸镀装置.pdf

    本发明提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；加热电极用于为加热腔提供热源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本发明实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底壳上，设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉，实现从蒸镀设备的上部开口处安装及取出，有利于加热器的维护以及更换。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113802095 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111163706.6 (22)申请日 2021.09.30 (71)申请人 北京博宇半导体工艺器皿技术有限

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