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电阻阻值的测试方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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电阻阻值的测试方法.pdf

    本申请实施例属于半导体制造技术领域，具体涉及一种电阻阻值的测试方法，用以解决相关技术中测量电阻值并不等于真实电阻值的问题。具体包括：获取第一接触部与第二接触部沿电阻长度方向的测量距离；获取电阻单位长度的单位阻值；获取第一接触部和第二接触部对应的寄生电阻值；根据测量距离、单位阻值以及寄生电阻值获得电阻的测量阻值。相比于相关技术中忽略寄生电阻影响的测量结果，本申请实施例的测试方法将寄生电阻与测量距离和单位阻值乘积的和作为测量阻值，提高了测量的电阻值的准确度，有利于确保半导体结构的性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113791276 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202111086716.4 (22)申请日 2021.09.16 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司

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