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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明公开了一种磁性悬臂梁传感器及其制作方法和一种显微成像系统，该磁性悬臂梁传感器包括玻璃基底、硅基悬臂梁、磁体、吸气单元和硅基盖体，其中玻璃基底上设有相连通的第一腔室和第二腔室，第二腔室位于第一腔室的底部，硅基悬臂梁的固定端固定连接在玻璃基底的第一腔室的底部，磁体固定连接在硅基悬臂梁的自由端，磁体的高度和硅基悬臂梁的厚度之和小于第一腔室的深度，吸气单元置于第二腔室内，硅基盖体固定连接在玻璃基体位于第一腔室上方的开口端，且硅基盖体上开设有感测窗口，感测窗口位于磁体的上方。本发明能够在拥有高真空环
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116381277 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202310178281.9 G01Q 60/38 (2010.01)
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