一种柔性电容式压力与接近传感器及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.87千字
约 10页
2023-07-05 发布于四川
举报
版权申诉

一种柔性电容式压力与接近传感器及其制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种柔性电容式压力与接近传感器及其制备方法，包括以下步骤：柔性聚酰亚胺基底进行亲水改性；聚酰亚胺基底上采用喷墨印刷沉积制备叉指银电极；叉指银电极上旋涂PDMS薄膜并固化封装；叉指银电极边缘通过导电银浆焊接导线引出；本发明通过喷墨印刷技术在柔性基底上制备柔性电容式压力与接近传感器，无需使用光刻、蚀刻等繁琐工艺，制备工艺简单、节约原材料、精度高；当施加不同压力或接近传感器时，传感器电容将会发生变化，并且传感器灵敏度高、最小检测限低，可实现高灵敏电子皮肤传感。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116380300 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310431621.4 (22)申请日 2023.04.21 (71)申请人西安交通大学地址 710049