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一种集成式多波长选择型弹性波导光探测器及其制作方法，涉及集成光学器件以及光通信技术领域，具体属于一种集成式多波长选择型弹性波导光探测器及其制作方法。包括沿X轴方向依次排布的光子晶体解复用器、锥型耦合器、波导光探测器，光子晶体解复用器与锥型耦合器自下而上包括半绝缘衬底层、光波导层；波导光探测器自下而上包括半绝缘衬底层、光波导层、过渡层、收集层、崖层、间隔层、吸收层、电子阻挡层、P接触层，其中，P接触层上表面设置有P金属电极；方形台体两侧的光波导层的部分上表面上设置有N金属电极。本发明可以应用于波分
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116387377 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202310432989.2
(22)申请日 2023.04.21
(71)申请人 聊城大学
地址 252000 山
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