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带准备室直线或交叉传递工件等离子体源离子注入机.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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带准备室直线或交叉传递工件等离子体源离子注入机.pdf

    带准备室直线或交叉传递工件等离子体源离子注入机，涉及等离子体源离子注入机。为了解决单真空室等离子体源离子注入机生产效率低的问题。本发明带准备室直线传递工件等离子体源离子注入机由准备室、注入室和工件转换室构成；或带准备室交叉传递工件等离子体源离子注入机由准备室、注入室和工件转换室构成；本发明设置专门的注入室始终保持高真空状态，可忽略预抽背底真空的时间，双室离子注入机能够大幅度缩短生产周期，准备室和注入室结构基本相同，在需要超长时间离子注入的场合，可单独使用。本发明适用于离子注入。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113832442 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111115246.X (22)申请日 2021.09.23 (71)申请人 哈尔滨工业大学 地址

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