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一种热场发射电子枪灯丝圆锥枪尖振动位移激光测量方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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一种热场发射电子枪灯丝圆锥枪尖振动位移激光测量方法.pdf

    本申请公开了一种热场发射电子枪灯丝圆锥枪尖振动位移激光测量方法，利用三个多普勒激光测振探头测量电子枪灯丝圆锥枪尖的振动位移，并根据振动位移测量结果，计算得到电子枪灯丝圆锥枪尖的实际振动位移；实际位移的计算结果能够用于削弱电子枪灯丝圆锥枪尖的振动对扫描电子显微镜成像质量的影响，进而提升利用扫描电子显微镜进行集成电路检测的准确性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113834427 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111118614.6 (22)申请日 2021.09.24 (71)申请人 北京航空航天大学 地址

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