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成膜方法和成膜装置.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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成膜方法和成膜装置.pdf

    本发明提供一种成膜方法和成膜装置，用于检测在形成有包括凹部的图案的基板上成膜出的膜的状态。在第一测定工序中，通过红外光谱法来测定形成有包括凹部的图案的基板。在成膜工序中，在第一测定工序之后，对基板进行膜的成膜。在第二测定工序中，在成膜工序之后，通过红外光谱法来测定基板。在提取工序中，提取第一测定工序的测定数据与第二测定工序的测定数据的差数据。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113820290 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202110652858.6 (22)申请日 2021.06.11 (30)优先权数据 2020-1047

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