基于MEMS的偏光装置和方法.pdfVIP

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2023-07-06 发布于四川
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基于MEMS的偏光装置和方法.pdf

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一种系统，包括基于MEMS的致动器单元和控制电路。该致动器单元包括一个或更多个MEMS致动器，每个MEMS致动器包括定子和转子，并且被配置为响应于所述定子和转子之间的电势来限定负载位置。该电路包括一个或更多个放大器，其被配置为向一个或更多个MEMS致动器提供电控制信号，以选择性地改变所述负载的位置。该电路包括传感电路，其被配置用于提供交流载波信号并用于监控所述载波信号，以生成关于所述一个或更多个MEMS致动器的阻抗的数据，该数据指示所述一个或更多个MEMS致动器的转子相对于定子的位置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113841080 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202080036878.4 亚龙 ·齐默尔曼　