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- 2023-07-06 发布于四川
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本发明公开了一种隧道扫描显微镜，镜体为中空结构，镜体一端与底座连接，镜体内设置有惯性马达，惯性马达包括平行设置的两个压电管，两个压电管一端固定在底座上，两个压电管另一端设有滑轨，两个压电管与滑轨间设有绝缘片，滑轨内部第一滑块，第一滑块上设有圆柱，扫描头包括两端中空的第二滑块，第二滑块内部设有扫描管，扫描管两端固定在第二滑块内，扫描管与探针通过针托连接，第二滑块底部设有圆槽，圆槽与第一滑块上的圆柱相配合，滑块外侧两侧面设有凸台，凸台与沟槽一面连接，沟槽另一面与样品台接触。由于惯性马达和扫描头是分离
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113834953 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111107241.2
(22)申请日 2021.09.22
(71)申请人 江苏筑美科技有限公司
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