体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约6.4万字
约 50页
2023-07-06 发布于四川
举报
版权申诉

体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种BAW谐振装置包括：第一电极层，第一电极层包括第一子层及第二子层；压电层，第一电极层位于压电层第一侧；第二电极层，位于第二侧，第二电极层包括第三子层及第四子层，第一子层、第三子层及压电层重合的区域为谐振区；第一无源结构，与第一子层的至少一个边缘接触；第二无源结构，与第三子层至少一个边缘接触；第一无源结构包括：第一抬起部，位于谐振区内；第一钝化部，位于第一抬起部与第一电极层之间；第一延伸部，位于谐振区外，第一抬起部相对第一延伸部凸起；第二无源结构包括：第二抬起部，位于谐振区内；第二钝化部，位于

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113839647 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202110808180.6 (22)申请日 2021.07.16 (71)申请人常州承芯半导体有限公司