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本发明涉及基板保持器及具备该基板保持器的基板镀覆装置、以及电接点。本发明提供一种用于对基板的表面进行镀覆的基板保持器，该基板具备能够容易地进行更换的电接点。基板保持器(1)的特征在于，具备：第一保持部件(2)；第二保持部件(3)，具有用于使基板(W)的表面露出的开口部(3a)，与第一保持部件(2)一起夹住并保持基板(W)；多个卡合轴部(36)，在末端部具有膨头状的头部(36b)，沿第二保持部件(2)的周向配置；以及电接点(32)，具有与基板(W)的边缘部抵接的接点部(32d)，且具有与相邻的卡合
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113825860 A
(43)申请公布日 2021.12.21
(21)申请号 202080035595.8 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
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