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本申请涉及一种显影装置以及基于该显影装置的显影方法，其中，该显影装置包括：显影腔室，显影腔室设有用于将显影腔室内的气体抽出显影腔室外的抽气管道；载物台，设于显影腔室内，用于支撑晶圆；多个温度传感器，设于载物台上，用于检测多个目标区域的温度；多个相互独立的送气管道，用于向显影腔室输入气体，每个所述目标区域对应至少一个送气管道；控制单元，用于获取各温度传感器的测量温度并计算对应目标区域的当前温度，以及根据目标区域的当前温度调节对应送气管道的气体参数，以使对应目标区域的温度处于预设温度范围内。通过设置
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113838767 A
(43)申请公布日
2021.12.24
(21)申请号 20201
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