一种用于金刚石生长的沉积装置.pdfVIP

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2023-07-07 发布于四川
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一种用于金刚石生长的沉积装置.pdf

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本发明提供了一种用于金刚石生长的沉积装置，包括：支撑台、升降台和钼托，支撑台的中间形成有中空部；钼托包括基体和设置在基体中间的屏蔽部，基体设置在支撑台上，屏蔽部上形成有多个间隔设置的屏蔽孔；升降台可升降地设置在中空部中，升降台的上方形成有多个与屏蔽孔相适配的支撑柱，支撑柱的顶部用于放置金刚石籽晶；其中，在金刚石的生长过程中，通过调节升降台的高度，使得金刚石的上表面和钼托的相对位置保持不变，并且每个支撑柱保持插入在对应的屏蔽孔中的状态。本发明既能避免升降台调节对腔体内电场分布、各类粒子分布、温度等

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113832540 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111175843.1 (22)申请日 2021.10.09 (71)申请人长沙