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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明涉及准分子激光器领域，具体涉及一种准分子激光器放电腔的窗片结构，包括：光学窗片V1、V2、V3、V4；其中V2、V3为内部光学窗片，V1、V4为外部光学窗片，单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置。本发明中双光学窗片结构设计极大改善了以往单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。另单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置，且各光学窗片接近布儒斯特角设置可以起到有效的激光传输偏振特性增强作用。双
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113872025 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202010616243.3
(22)申请日 2020.06.30
(71)申请人 北京科益虹源光电技术有限公司
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