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光刻装置、衬底台以及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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光刻装置、衬底台以及方法.pdf

    一种用于支撑衬底的衬底台，包括表面以及粗突节。粗突节中的每个粗突节包括突节顶部表面以及细突节。粗突节被设置在衬底台的表面上，细突节被设置在突节顶部表面上。当衬底台支撑衬底时，细突节与衬底接触。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874789 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038409.6 I ·西格尔　T ·尤特迪杰克　 (22)申请日

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