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用于晶圆解键合的系统以及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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用于晶圆解键合的系统以及方法.pdf

    本发明公开了用于晶圆解键合的系统以及方法，系统包括：加热浴槽，加热浴槽用于盛放水浴或油浴；支架，支架设在加热浴槽中；解键合液槽，解键合液槽设在支架上，解键合液槽用于盛放解键合液；晶圆容器，晶圆容器用于盛放待解键合的晶圆，晶圆容器可移动，晶圆容器的底壁和至少部分的侧壁设有多个孔；连接杆，连接杆用于固定待解键合的晶圆的陶瓷盘。该系统结构简单，易组装易拆解，应用广泛，正常的湿法机台槽位内均可临时加装拆卸；且该湿法解键合系统中，避免使用外力，解决了机台chuck吸附后推片解键合过程中由于出力不均匀而导致

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113871322 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202110954249.6 (22)申请日 2021.08.19 (71)申请人 华芯半导体研究院（北京）有限公司

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