用于晶片载入台的晶片扫描机构.pdfVIP

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2023-07-07 发布于四川
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用于晶片载入台的晶片扫描机构.pdf

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本发明公开了用于晶片载入台的晶片扫描机构，包括底板和与底板固定连接的水平导板，水平导板上滑动连接有两个水平滑板，水平滑板通过连杆组件与沿竖直面伸缩的驱动件连接，驱动件的输出轴伸出或收回时推动两个水平滑板相对或相向运动。两个水平滑板上分别与对应设置的两个水平长摆臂的一端铰接，水平长摆臂上还铰接有水平短摆臂，水平短摆臂的一端与水平长摆臂铰接，另一端与水平导板铰接，两个所述水平长摆臂可以随水平滑板移动，同时能在两个对应的水平短摆臂作用下在水平面内做反向同步摆动。实现光电传感器伸出和缩回底板的动作，避免

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113851405 A (43)申请公布日 2021.12.28 (21)申请号 202111263661.X (22)申请日 2021.10.28 (71)申请人上海果纳半导体技术有限公司