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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明提出了一种薄膜体声波谐振器结构及其制造方法。所述薄膜体声波谐振器包括基体、缓冲层、第一空腔、第二空腔、第一电极、沉积压电层、第二电极和保护层；所述第一空腔由所述基体的凹槽与所述基体上表面覆盖的缓冲层形成；所述沉积压电层布设于所述缓冲层上方，所述沉积压电层凸起部分的下表面附着有第一电极；所述第一电极与所述缓冲层之间形成第二空腔；所述第二电极设置与所述沉积压电层上方，所述保护层覆盖与所述第二电极和外露的沉积压电层表面。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113852357 B
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202111416351.7 CN 112087209 A,2020.12.15
(22)
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