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一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备.pdf

    本发明涉及一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备，所述加热系统包括加热盘（2）、热辐射防护组件、陶瓷支撑组件、导电组件和绝缘支撑筒（6），热辐射防护组件包括基板（4）和设置在基板（4）上的反射板（3），加热盘（2）通过陶瓷支撑组件支撑在反射板（3）的上方，导电组件包括导电支撑板（5）、铜排（7）和电极（8），铜排（7）与电极（8）相连且电极（8）的上端与导电支撑板（5）相连，基板（4）通过绝缘支撑筒（6）支撑在导电支撑板（5）的上方，导电支撑板（5）通过穿过基板（4）和反射板（3）的接线柱

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113846374 A (43)申请公布日 2021.12.28 (21)申请号 202111427462.8 (22)申请日 2021.11.29 (71)申请人 山西

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