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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明公开了一种基于集成学习的MEMS传感器缺陷的检测方法、装置及设备，该方法包括：接收预置的MEMS传感器缺陷的检测请求；获取所述MEMS传感器的缺陷图像；对所述缺陷图像进行图像分解，得到所述缺陷图像的分解图；将所述分解图输入至预置的集成分类器中，得到所述MEMS传感器的缺陷类别。本发明基于计算机视觉缺陷检测技术领域，在对MEMS传感器缺陷进行检测的过程中，通过对MEMS传感器的缺陷图像进行分解并输入至集成分类器中进行分类识别，以完成对MEMS传感器缺陷的检测，从而有效提升缺陷分类的准确率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113850803 A
(43)申请公布日 2021.12.28
(21)申请号 202111428291.0
(22)申请日 2021.11.29
(71)申请人 武汉飞恩微电子有限公司
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