控制个别夹具电流的电镀装置.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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本发明提出一种控制个别夹具电流的电镀装置,包括:连续电镀生产线,其具备第1阳极;分步电镀生产线,其配置于所述连续电镀生产线的后方,并具备第2阳极;控制部,其调整应用到所述第1阳极和第2阳极的电流值,使形成于所述基板的最终电镀厚度保持均匀,所述连续电镀生产线在所述基板被移动的状态下实施电镀,所述分步电镀生产线在所述基板被停止的状态下实施电镀,所述控制部在所述连续电镀生产线的整个区段,使应用到所述第1阳极的电流值保持恒定,而在所述分步电镀生产线,则使所述连续电镀生产线所移送夹具被停止的状态下,分夹具

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113862760 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202011613110.7 C25D 17/06 (2006.01)

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