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含有升华性物质的液体的制造方法、基板干燥方法及基板处理装置.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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含有升华性物质的液体的制造方法、基板干燥方法及基板处理装置.pdf

    基于图案的表面为亲水性还是疏水性来选择升华性物质。在图案的表面为亲水性的情况下，选择对水的溶解度比所选择的升华性物质小的亲水用的溶剂，在图案的表面为疏水性的情况下，选择对油的溶解度比所选择的升华性物质小的疏水用的溶剂。使所选择的升华性物质溶解于所选择的溶剂中。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874986 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038988.4 (74)专利代理机构 成都超凡明远知识产权代理

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