层叠型静电致动器.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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本发明提供在被较大的外力拉伸时也发挥充分的收缩力,并且在轻负荷时收缩率也不会降低的层叠型静电致动器。层叠型静电致动器由具有第一绝缘层、导体层、第二绝缘层的3层构造的多个电极膜构成,其被构成为:各电极膜在电极膜的第一绝缘层上具有以能够与其它电极膜接合的方式进行了表面加工的接合区域P、和不与其它电极膜接合的非接合区域Q,接合区域P与非接合区域Q的边界C具有能够使用至少一个以上的有限值的曲率半径来定义的波状图案,以第一电极膜的接合区域P和紧接在第一电极膜的下方的第二电极膜的接合区域P在层叠方向上相互不

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113875144 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038998.8 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限

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