VCSEL空间模式和输出光束的控制.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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一种VCSEL器件,其具有形成在VCSEL结构的一个或多个层中的彼此非同轴孔和/或旋转不对称孔,以在该器件的操作中限定一个以上的光输出空间模式。这种VCSEL器件的阵列被配置为在不同组成的VCSEL器件的输出处具有不同的空间模式。组成VCSEL器件以及因此VCSEL器件阵列的结构的空间不对称性导致整个光输出形成不规则的光输出点网格。当VCSEL阵列配备合适的透镜阵列时,使VCSEL阵列的光输出的空间分量以多空间(和光谱)模式的方式在远场或成像平面上重叠,从而减少成像应用中的散斑。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113875104 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080019291.2 (74)专利代理机构 北京市铸成律师事务所

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