一种绿光氮化物激光电池外延片及其制备方法.pdfVIP

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2023-07-07 发布于四川
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一种绿光氮化物激光电池外延片及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种绿光氮化物激光电池外延片及其制备方法，属于激光电池外延片技术领域。外延片包括图案化的Al2O3衬底，Al2O3衬底顶面设置有AlN成核层，AlN成核层顶面设置有GaN本征层，GaN本征层顶面设置有n‑GaN层，n‑GaN层顶面设置有In0.04Ga0.96N/GaN超晶格层，In0.04Ga0.96N/GaN超晶格层顶面设置有u‑GaN层，u‑GaN层顶面设置有In0.26Ga0.74N/GaN多量子阱层，In0.26Ga0.74N/GaN多量子阱层顶面设置有Al0.1Ga0.9

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113851546 A (43)申请公布日 2021.12.28 (21)申请号 202111105920.6 (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人陕西科技大学地址